燃烧法是消除法的一种，是利用有机废气易燃烧性质进行处理的一种方法，把可燃的有机废气当作燃料来燃烧。该法适合处理高浓度有机废气，燃烧温度控制在1100℃以上，去除效率达95％以上。催化燃烧法因其净化效率高，工艺简单，是应用广的一种，也有不少国产装置；但其主要问题是能耗大，尤其是废气浓度低时热回收量少能耗 大；又浓度变化大时适应性不佳等亦限制了其应用。因而，中小企业中实际使用率并不高。
催化燃烧装置主要由热交换器、燃烧室、催化反应器、热回收系统和净化烟气的排放烟囱等部分组成，如右图所示。其净化原理是：未净化气体在进入燃烧室以前，先经过热交换器被预热后送至燃烧室，在燃烧室内达到所要求的反应温度，氧化反应在催化反应器中进行，净化后烟气经热交换器释放出部分热量，再由烟囱排入大气。
废气处理设备的催化燃烧方法是先对器进行加热，然后将器放入大气中，将大气加热到高温。在与炉内的烟气混合后，器与燃料混合燃烧。通常高温气氛的温度大于1000摄氏度。蓄热式燃烧，蓄热室成对，经过一段时间的反应后，通过换向阀，使两个蓄能器交替工作。大限度地接受高温烟气的感热是可能的，即实现了余热入炉。通过构造的贫氧燃烧条件下，高温热氧化氮氧化合物的大规模生产。在实际应用中，取得了明显的经济效益和社会效益。
